sistema di tempera termico rapido di 150mm con tre gas trattati degli insiemi

Sistema di tempera termico rapido di RTP-150RL con tre gas trattati degli insiemi

RTP-150RL:
È nell'atmosfera della protezione del sistema temprare rapido manuale da tavolino, con il wafer di riscaldamento leggero visibile o il campione infrarosso del pezzo singolo, breve tempo di processo, precisione di controllo ad alta temperatura, adatta per il wafer a 2-6 pollici. La sua progettazione unica della cavità, tecnologia avanzata del controllo della temperatura e un sistema di controllo unico del software RL900 sopra i sistemi di tempera convenzionali della fornace di diffusione assicura l'uniformità termica eccellente rispetto ad altri sistemi di RTP.

Caratteristiche di prodotto:

1. Riscaldamento infrarosso del tubo della lampada dell'alogeno, raffreddantesi facendo uso del raffreddamento a aria.

2. Il controllo della temperatura di PID di potere della metropolitana, può controllare esattamente il riscaldamento della temperatura, per assicurare la buona uniformità della temperatura e della riproducibilità.

3. Il metodo parallelo della presa d'aria è adottato e l'entrata di gas è messa sulla superficie del wafer per evitare i punti freddi durante il processo di tempera e per assicurare la buona uniformità della temperatura del prodotto.

4. L'aria ed i metodi di trattamento di vuoto possono essere selezionati, prima del trattamento di purificazione del gas di aria dell'assunzione.

5. Norma con tre insiemi dei gas trattati.

6. La dimensione massima di singolo campione misurabile del wafer è di 6 pollici (150mm).

7. Le misure di sicurezza triple della protezione d'apertura della temperatura della sicurezza della fornace, della protezione dell'autorità di apertura del regolatore di temperatura e della protezione della sicurezza dell'arresto di emergenza dell'attrezzatura sono adottate per assicurare la sicurezza degli strumenti.