1.Configurazione di base del sistema di attrezzature
1.1 schemi
Il Rapid Thermal Processing è un forno di ricottura veloce a wafer verticale semiautomatico da 8 pollici, che utilizza due strati di lampade alogene a infrarossi come fonti di calore per il riscaldamento.La cavità interna di quarzo è isolato e isolato, e il guscio esterno della cavità è realizzato in lega di alluminio raffreddata ad acqua, garantendo un riscaldamento uniforme del prodotto e una bassa temperatura superficiale.
Rapid Thermal Processing adotta il controllo PID e il sistema può regolare rapidamente la potenza di uscita delle lampade alogene a infrarossi, rendendo il controllo della temperatura più preciso.
1.2. Caratteristiche del prodotto
Riscaldamento a doppio strato del tubo della lampada ad alogeno a infrarossi, raffreddamento rapido dell'azoto;
Disposizioni di gruppi di tubi di luci sviluppate in modo indipendente per migliorare l'uniformità della temperatura;
utilizzando il controllo dell'algoritmo PID, regolazione in tempo reale della potenza di uscita della lampada;
Gli account utente sono suddivisi in tre livelli di autorizzazioni per una comoda gestione delle informazioni;
L'interfaccia principale del software può visualizzare in tempo reale parametri quali gas, temperatura, grado di vuoto, ecc.;
Il sistema salva automaticamente le informazioni pertinenti per ciascun processo;
Riconoscere automaticamente i messaggi di errore e proteggere automaticamente il dispositivo in caso di anomalie:
Determinazione del surriscaldamento: la temperatura della lega di alluminio raffreddata ad acqua sul guscio esterno della camera supera i 70 °C.
rilevamento della termocoppia: durante il processo di sistema, il valore di monitoraggio della termocoppia non corrisponde al valore impostato.
Determinazione del riscaldamento: potenza di uscita anormale durante il riscaldamento.
Determinazione della serratura della porta del forno: verificare se la serratura della porta è bloccata prima di ogni processo.
Determinazione del gas: la pressione del gas supera il range impostato, la pressione del gas è troppo alta o troppo bassa.
Determinazione del flusso d'acqua: il flusso di ingresso è inferiore al valore predefinito.
Determinazione di perdite: rilevazione di perdite.
Interruttore di arresto di emergenza: interrompere immediatamente il processo e tagliare la fonte di calore.
1.3.Trattamento termico rapidoapplicazioni industriali
Aggiugatura per impianto ionico
Rilascio rapido dopo rivestimento ITO
ossido
Crescita dei nitruri
Acciaio a caldo (escl. acciaio a caldo)
Processo di arsenuro di gallio
Leghe veloci a contatto ohmico
Riflusso ossidativo
Altri processi di trattamento termico rapido dei semiconduttori
2.Configurazione dell'attrezzatura principale
2.1.Parametro generale dell'apparecchiatura
| RTP-SA-8 |
| Dimensione massima del prodotto |
Oggetti da 8 pollici o meno |
| Dimensioni dell'apparecchiatura |
970 mm x 1450 mm x 2024 mm (larghezza x profondità x altezza) |
|
Intervallo di temperatura di riscaldamento
|
Temperatura ambiente ~ 800 °C (termocoppia)
800 °C-1250 °C (pirometro a infrarossi)
|
|
velocità di riscaldamento
|
150 °C/s wafer nuda
20 °C/s vettore di carburo di silicio
|
|
Uniformità della temperatura
|
< 500 °C, uniformità ≤ ± 5 °C
≥ 500 °C, uniformità ≤ ± 1%
|
| Ripetibilità del controllo della temperatura |
± 1°C |
| Durata di temperatura costante |
Programmabile in base ai requisiti |
2.2Lista di controllo della configurazione
Configurazione standard
| Numero |
Nome |
Modello di specifica |
Descrizione delle prestazioni/parametri |
Quantità |
Unità |
| 1 |
Trattamento termico rapido |
RTP-SA-8 |
Dimensioni esterne:970*1450*2024
(larghezza x profondità x altezza)
|
1 |
set |
| (1) |
Corpo del forno |
LT-08 |
Camera in lega di alluminio dorata raffreddata ad acqua |
1 |
set |
| (2) |
Camera a vuoto |
SQ-08 |
Cavità di quarzo ad alta purezza |
1 |
set |
| (3) |
Tubo alogeno |
D8-20 |
2 kW/pezzo |
33 |
pezzo |
| (4) |
Connessione di quarzo |
SJ-08 |
Quarzo di alta purezza (8 ") |
1 |
set |
| (5) |
Anello di grafite |
--- |
grafite |
1 |
set |
| (6) |
Termocoppia per la misurazione della temperatura |
K-08G |
Tipo K ± 1,5°C o ± 0,4% t |
2 |
set |
| (7) |
Calcolatore industriale |
IPC-510 |
dvantech Industrial Control, 10a generazione i5 1 set |
1 |
set |
| (8) |
schermo |
/ |
21Display da 0,5 pollici |
1 |
pezzo |
| (9) |
MFC |
MC-1601L(10L),
MC-1602L ((100L)
|
Warwick GN2/PN2/O2/N2
Riserva di un gasdotto per un totale di 5 gasdotti
|
5 |
set |
| 10 |
Frigoriferi |
KBE-5A |
Potenza di raffreddamento: 14,8 kW |
1 |
pezzo |
| 11 |
pompa a vuoto |
SP600 |
Velocità della pompa 522L/min |
1 |
set |
| 12 |
Pirometro a infrarossi |
/ |
/ |
1 |
set |
2.3.Consumi comuni
| Numero |
Nome |
Modello di specifica |
Unità |
Ciclo di manutenzione |
| 1 |
Anello di grafite |
RTP-SiC-8 |
E.A. |
Sostituzione danneggiata |
| 2 |
Tavola di quarzo |
RTP-QC-8 |
E.A. |
Sostituzione danneggiata |
| 3 |
Connessione di quarzo |
RTP-QS-8 |
E.A. |
Sostituzione danneggiata |
| 4 |
tubi di quarzo |
RTP-QT-8 |
E.A. |
Sostituzione danneggiata |
| 5 |
tubo di lampada |
RTP-HT-8 |
E.A. |
2000 ore |
| 6 |
O-ring |
RTP-O-8 |
E.A. |
1 anno |
| 7 |
Termocoppia di tipo K |
KT-800 |
E.A. |
3Moni |
| 8 |
Manutenzione della pompa a vuoto |
/ |
E.A. |
1 anno |
| 9 |
Verifica della MFC |
/ |
E.A. |
1 anno |
3.I requisiti di ispezione dell'aspetto e di stoccaggio temporaneo prima dell'installazione delle attrezzature all'entrata
- Dopo l'arrivo dell'attrezzatura del fornitore, la parte A è responsabile del controllo del numero di pezzi e dell'imballaggio per assicurare la loro integrità e è responsabile della custodia;Dovremmo anche aiutare Shanghai Ganova nel trasporto delle attrezzature al sito di installazione., facilitando l'installazione.
- Se l'imballaggio interno ed esterno dell'apparecchiatura è intatto e se vi sono evidenti danni, graffi o peeling della vernice
- Se all'interno e all'esterno della macchina vi è sporco o ruggine
- Controllare se le marcature della targhetta sono coerenti con l'apparecchiatura
- In base alla configurazione standard dell'apparecchiatura di cui al presente accordo tecnico, contare ciascun elemento uno per uno e fornire i dettagli dei pezzi di ricambio e degli accessori,così come il nome del software nel record di unboxing per garantire la configurazione completa.
- L'host e i componenti interni del dispositivo nuovo di zecca devono essere nuovi di zecca
- Conservare l'attrezzatura in una stanza pulita e priva di vibrazioni
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